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什麽是無塵室？無塵室的分(fēn)類
- 分(fēn)類：技術在線
- 作者：
- 來源：
- 發布時間：2016-11-15 11:55
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【概要描述】東莞市華科淨化工(gōng)程有限公司是一(yī)家專業承建無塵車(chē)間設計-施工(gōng)-維護。
什麽是無塵室？無塵室的分(fēn)類
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東莞市華科淨化工(gōng)程有限公司是一(yī)家專業承建無塵車(chē)間設計-施工(gōng)-維護。電話(huà)：13925526908 網站：www.hkcleanroom.com
無塵室的分(fēn)類
1. 亂流式(Turbulent Flow)：空氣由空調機箱經風管和潔淨室内的空氣過濾器(HEPA)進入潔淨室，并由潔淨室内的回風柱或高架地闆回風。氣流是呈不規則的亂流或渦流狀态。此型式适合于潔淨室等級爲：1,000-100,000級。
優點：構造簡單、系統建造成本比較低，潔淨室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所需提高潔淨等級，可結合潔淨工(gōng)作台來提高潔淨室等級。
缺點：亂流造成的微塵粒子于室内空間飄浮不易排出，易污染制程産品。另外(wài)若系統停止運轉再激活，欲達需求的潔淨度，往往須相當長一(yī)段時間。
2.層流式(Laminar)： 空氣氣流運動成一(yī)均勻的直線形，空氣由覆蓋率100%的高效過濾器進入室内，并由高架地闆或兩側回風柱回風，此型式适合于級别比較高的潔淨室，一(yī)般其潔淨室等級爲Class 1~100。其型式可分(fēn)爲二種：
(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊牆壁之回風系統回風，塵埃随風向排出室外(wài)，一(yī)般在下(xià)流側污染較嚴重。優點：構造簡單，運轉後短時間内即可變成穩定。缺點：建造費(fèi)用比亂流式高，室内空間不易擴充。
（2）垂直層流式：房間天花闆完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下(xià)吹，可得較高之潔淨度，在制程中(zhōng)或工(gōng)作人員(yuán)所産生(shēng)的塵埃可快速排出室外(wài)而不會影響其它工(gōng)作區域。優點：管理容易，運轉開(kāi)始短時間内即可達穩定狀态，不易爲作業狀态或作業人員(yuán)所影響。缺點：構造費(fèi)用較高，彈性運用空間困難，天花闆之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。
3.複合式(Mixed Type)： 複合式爲将亂流式及層流式予以複合或并用，可提供局部超潔淨之空氣。(1)潔淨隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器将制程區域或工(gōng)作區域100%覆蓋使潔淨度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費(fèi)用。此型式需将作業人員(yuán)之工(gōng)作區與産品和機器維修予以隔離(lí)，以避免機器維修時影響了工(gōng)作及品質，ULSI制程大(dà)都采用此種型式
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