
什麽是無塵室?無塵室的分(fēn)類
- 分(fēn)類:技(jì )術在線(xiàn)
- 作(zuò)者:
- 來源:
- 發布時間:2016-11-15 11:55
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【概要描述】東莞市華科(kē)淨化工(gōng)程有(yǒu)限公(gōng)司是一家專業承建無塵車(chē)間設計-施工(gōng)-維護。
什麽是無塵室?無塵室的分(fēn)類
【概要描述】東莞市華科(kē)淨化工(gōng)程有(yǒu)限公(gōng)司是一家專業承建無塵車(chē)間設計-施工(gōng)-維護。
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東莞市華科(kē)淨化工(gōng)程有(yǒu)限公(gōng)司是一家專業承建無塵車(chē)間設計-施工(gōng)-維護。電(diàn)話:13925526908 網站:www.hkcleanroom.com
無塵室的分(fēn)類
1. 亂流式(Turbulent Flow):空氣由空調機箱經風管和潔淨室内的空氣過濾器(HEPA)進入潔淨室,并由潔淨室内的回風柱或高架地闆回風。氣流是呈不規則的亂流或渦流狀态。此型式适合于潔淨室等級為(wèi):1,000-100,000級。
優點:構造簡單、系統建造成本比較低,潔淨室之擴充比較容易,在某些特殊用(yòng)途場所需提高潔淨等級,可(kě)結合潔淨工(gōng)作(zuò)台來提高潔淨室等級。
缺點:亂流造成的微塵粒子于室内空間飄浮不易排出,易污染制程産(chǎn)品。另外若系統停止運轉再激活,欲達需求的潔淨度,往往須相當長(cháng)一段時間。
2.層流式(Laminar): 空氣氣流運動成一均勻的直線(xiàn)形,空氣由覆蓋率100%的高效過濾器進入室内,并由高架地闆或兩側回風柱回風,此型式适合于級别比較高的潔淨室,一般其潔淨室等級為(wèi)Class 1~100。其型式可(kě)分(fēn)為(wèi)二種:
(1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊牆壁之回風系統回風,塵埃随風向排出室外,一般在下流側污染較嚴重。優點:構造簡單,運轉後短時間内即可(kě)變成穩定。缺點:建造費用(yòng)比亂流式高,室内空間不易擴充。
(2)垂直層流式:房間天花(huā)闆完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可(kě)得較高之潔淨度,在制程中(zhōng)或工(gōng)作(zuò)人員所産(chǎn)生的塵埃可(kě)快速排出室外而不會影響其它工(gōng)作(zuò)區(qū)域。優點:管理(lǐ)容易,運轉開始短時間内即可(kě)達穩定狀态,不易為(wèi)作(zuò)業狀态或作(zuò)業人員所影響。缺點:構造費用(yòng)較高,彈性運用(yòng)空間困難,天花(huā)闆之吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。
3.複合式(Mixed Type): 複合式為(wèi)将亂流式及層流式予以複合或并用(yòng),可(kě)提供局部超潔淨之空氣。(1)潔淨隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器将制程區(qū)域或工(gōng)作(zuò)區(qū)域100%覆蓋使潔淨度等級提高至10級以上,可(kě)節省安(ān)裝(zhuāng)運轉費用(yòng)。此型式需将作(zuò)業人員之工(gōng)作(zuò)區(qū)與産(chǎn)品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工(gōng)作(zuò)及品質(zhì),ULSI制程大都采用(yòng)此種型式
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