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高純工(gōng)業氣體(tǐ)系統

概要:
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詳情

　　高純氣配管技(jì )術是高純氣體(tǐ)供氣系統的重要組成部分(fēn)，是能(néng)否将合符要求的高純氣體(tǐ)送至用(yòng)氣點仍保持質(zhì)量合格的關鍵技(jì )術；所謂高純氣配管技(jì )術包括系統的正确設計、管件及附件的選擇、施工(gōng)安(ān)裝(zhuāng)和 試驗測試等内容。

　　常見氣體(tǐ)的種類電(diàn)子行業中(zhōng)常見氣體(tǐ)的分(fēn)類：普通氣體(tǐ)，也稱大宗氣體(tǐ)（Bulk gas ）：氫氣（H2）、氮氣（N2）、氧氣（O2）、氩氣（A2）等。特種氣體(tǐ)（Specialty gas ）主要有(yǒu) SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等特殊氣體(tǐ)的種類一般可(kě)分(fēn)為(wèi)腐蝕性、毒性、可(kě)燃性、助燃性、惰性等，一般常用(yòng)的半導體(tǐ)氣體(tǐ)分(fēn)類如下：
　　(一)、腐蝕性 / 毒性：HCl 、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、 BCl3 …等
　　(二)、可(kě)燃性：H2、 CH4、 SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO…等
　　(三)、助燃性：O2、Cl2、N2O、NF3…等
　　(四)、惰性：N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He…等半導體(tǐ)氣體(tǐ)很(hěn)多(duō)是對人體(tǐ)有(yǒu)害。
　　特别是其中(zhōng)有(yǒu)些氣體(tǐ)如SiH4的自燃性，隻要一洩漏就會與空氣中(zhōng)的氧氣起劇烈反應，開始燃燒；還有(yǒu)AsH3的劇毒性，任何些微的洩漏都可(kě)能(néng)造成人員生命的危害，也就是因為(wèi)這些顯而易見的危險，所以對于系統設計安(ān)全性的要求就特别高。 

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